Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Элементная база микро- и наноэлектроники(проектирование)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Арутюнов, П. А.
    Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть 1. [Текст] / Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 6.-С.405-414.-Библиогр.:90 назв.
УДК
621.38.049.77

Кл.слова (ненормированные):
Атомно-силовая микроскопия(использование метода) -- Микроэлектроника(создание элементной базы) -- Элементная база микро- и наноэлектроники(проектирование) -- Элементы избирательно-чувствительные(новые конструкции)
Доп.точки доступа:
Толстихина, А.Л.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 177520
Число посетителей 901
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».