Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Пленки диоксида кремния(формирование)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Светличный, А. М.
    Формирование пленок диоксида кремния фотохимическим разложением тетраэтоксисилана [Текст] / А.М.Светличный,В.В.Поляков,Ю.Н.Варзарев // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 1.-С.27-31.-Библиогр.:8 назв.
УДК
621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Пленки диоксида кремния(формирование) -- Тетраэтоксисилан(фотохимическое разложение) -- Микроэлектроника(технологии)
Доп.точки доступа:
Поляков, В.В.
Варзарев, Ю.Н.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 182020
Число посетителей 929
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».