Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Микроприборы(создание, контроль параметров)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Лучинин, В. В.
    Эллипсометрический контроль параметров тонкослойных структур при создании приборов на основе системы SiC-AIN [Текст] / В.В.Лучинин,М.Ф.Панов // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 2.-С.129-134.-Библиогр.:6 назв. - (Мониторинг технологических процессов)
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Тонкослойные структуры(контроль параметров) -- Эллипсометрический контроль параметров(тонкослойных структур) -- Микроприборы(создание, контроль параметров)
Доп.точки доступа:
Панов, М.Ф.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 28.06.2024
Число запросов 85180
Число посетителей 782
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».