Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Метод ВЧ-магнетронного распыления<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
62
М 26

    Мокосеев, Н. С.
    Разработка метода и технологии легирования пленок ALN в процессе выращивания [Текст] / Н. С. Мокосеев, А. В. Ермолаев // Сборник статей студентов, аспирантов и докторантов по итогам научно-технических конференций МарГТУ в 2003 г. / Мар. гос. техн. ун-т ; [редкол.: В. А. Иванов и др.]. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2004. - С. 176-179. - (3. Радиофизика, техника, локация, связь) . - 7 абнл, 609315 кнхр
УДК
62

Кл.слова (ненормированные):
Легированные пленки(AIN) -- Пленки AIN -- Оптоэлектроника -- Нитрид алюминия -- Магнетрон(легирование пленок) -- Метод ВЧ-магнетронного распыления -- Вакуумная установка -- Труды МарГТУ
Доп.точки доступа:
Ермолаев, А.В.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 28.06.2024
Число запросов 82601
Число посетителей 769
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».