Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=реактивные газы<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

    Технологические особенности формирования резистивных пленок на основе нержавеющей стали [Текст] / А. В. Мороз [и др.] // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2016. - № 2 (30). - С. 84-89 : 2 рис. - Библиогр.: с. 87 (7 назв.). - Реф. на англ. яз.

Рубрики: Радиоэлектроника

   Радиоэлектроника в целом

   Энергетика

   Магнитные измерения


Кл.слова (ненормированные):
аргон -- магнетронное распыление -- нержавеющая сталь -- нитриды -- оксиды -- поверхностное сопротивление -- реактивные газы -- резистивные пленки -- технологические особенности -- удельное поверхностное сопротивление
Аннотация: Описана технология формирования резистивных пленок на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали. Приведены зависимости между удельным поверхностным сопротивлением температурным коэффициентом пленок и содержанием реактивных газов в атмосфере аргона при их формировании.
Доп.точки доступа:
Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук; доцент)
Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент)
Степанов, Сергей Александрович (ассистент)
Михеева, Елена Викторовна (кандидат технических наук; доцент)
Рыжова, Елена Андреевна (студент)

Найти похожие

Ч21
Н 34

Рыжова, Е. А.
Исследование возможности использования элементов нержавеющей стали в качестве основы тонкопленочных резисторов [Текст] / Е. А. Рыжова, А. В. Мороз, Н. И. Сушенцов // Наука и инновации-2015 ISS "SI-2015" : 10-я международная научная школа : инновационный форум "Прорывные инновации и промышленный прогресс", 10-я Международная Научная Школа-семинар "Фундаментальные исследования и инновации 2015", Всероссийский студенческий проект "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России", Молодежная летняя научная школа-семинар "Наука и инновации - 2015" / [редкол.: И. И. Попов (пред.), В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь" [и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2015. - С. 82-84 : 1 рис.; 1 табл. - (Физика-материаловедение-технологии-оборудование). - Библиогр.: с. 84 (6 назв.) . - 670837 кнхр

УДК

Ч21

Кл.слова (ненормированные):
ТРУДЫ ПГТУ -- микросхемы -- резисторы -- нержавеющая сталь -- тонкопленочные резисторы -- реактивные газы -- магнетронное распыление
Аннотация: Исследованы технологические возможности формирования магнетронным распылением резистивным пленок из элементов нержавеющей стали. Представлены зависимости между содержанием реактивных газов и удельным поверхностным сопротивлением пленок. Показана возможность управления свойствами пленок на основе оксидов и нитритов элементов нержавеющей стали во время их роста за счет состава газового состава в камере.
Доп.точки доступа:
Мороз, А. В.
Сушенцов, Н. И.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 27.06.2024
Число запросов	1534
Число посетителей	286
Число заказов	0