Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Эллипсометры(дифференциального отражения)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Разработка оптических методов и аппаратуры для контроля технологии и параметров полупроводниковых структур нано-и микроэлектроники [Текст] / В. И. Ковалев и [др.] // Радиотехника и электроника. - 1999. - Т.4. - 11.-С.1404-1408.-Библиогр.:13 назв. - (Новые радиоэлектронные системы и элементы)
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Полупроводниковые структуры(приборы для контроля параметров) -- Оптика поляризационная(контроль полупроводниковых структур) -- Рефлектометры(дифференциального отражения) -- Эллипсометры(дифференциального отражения) -- Спектрометры(дифференциального отражения)
Доп.точки доступа:
Ковалев, В.И.
Рукавишников, А.И.
Перов, П.И.
Россуканый, Н.М.
Авдева, Л.А.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 18.06.2024
Число запросов 15879
Число посетителей 979
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».