Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=Травление глубокихтренчейв диэлектрике<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Некоторые применения микроволнового источника плотной плазмы в субмикронной технологии кремниевых интегральных схем [Текст] / С. Н. Аверкин и [др.] // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.183-188.-Библиогр.:14 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Субмикронная технология кремниевых интегральных схем -- Интегральные схемы кремниевые(субмикронная технология) -- Микроволновой источник плотной плазмы(применение) -- Охлаждение тонких слоев SiO2 -- Заполнение субмикронных канавок -- Субмикронные канавки(заполнение) -- Тонкие слои SiO2(охлаждение) -- Локальная планаризация поверхности ИС -- Травление глубоких"тренчей"в диэлектрике -- Диэлектрик(травление"тренчей")
Доп.точки доступа:
Аверкин, С.Н.
Валиев, К.А.
Наумов, В.А.
Калинин, А.В.
Кривоспицкий, А.Д.
Орликовский, А.А.
Рылов, А.А.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 04.07.2024
Число запросов	103849
Число посетителей	874
Число заказов	0