Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Пленки молибдена(нанесение)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Данилюк, А. Л.
    Очистка и подлегирование кремния в плазме BF3 при изготовлении омических контактов [Текст] / Данилюк А.Л., Снитовский Ю.П. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 4.-С.305-311.-Библиогр.:29 назв.
УДК
621.382.3

Кл.слова (ненормированные):
Кремний(очистка,подлегирование) -- Омические контакты(изготовление) -- Контакты омические высоконадежные невыпрямляющие -- Пленки молибдена(нанесение) -- Катодного распыления метод(нанесения пленок) -- Полупроводника и диэлектрика контакт
Доп.точки доступа:
Снитовский, Ю.П.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 27043
Число посетителей 461
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».