Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Многоуровневая металлизация УБИС<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Контактные TiSi2 и барьерные TiN слои для многоуровневой металлизации УБИС [Текст] / А. Г. Васильев и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 1.-С.9-15.-Библиогр.:8 назв. - (Технологические процессы)
УДК
621.3.049.77

Кл.слова (ненормированные):
Многоуровневая металлизация УБИС -- Тонкие пленки ИС(формирование) -- Интегральные схемы(многоуровневые,металлизация) -- Технологические процессы в микроэлектронике -- Процессы технологические(в микроэлектронике)
Доп.точки доступа:
Васильев, А.Г.
Орликовский, А.А.
Родатис, В.В.
Хорин, И.А.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 04.07.2024
Число запросов 95568
Число посетителей 844
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».