Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>U=621.382.002<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002
Автор(ы) : Светличный А.М., Поляков В.В., Варзарев Ю.Н.
Заглавие : Формирование пленок диоксида кремния фотохимическим разложением тетраэтоксисилана
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 1.-С.27-31.-Библиогр.:8 назв.
УДК : 621.382.002
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки диоксида кремния(формирование)--тетраэтоксисилан(фотохимическое разложение)--микроэлектроника(технологии)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002
Автор(ы) : Оболенский С.В., Китаев М.А.
Заглавие : Исследование процессов генерации в баллистическом полевом транзисторе
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 1.-С.10-15.-Библиогр.:9 назв.
УДК : 621.382.002
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): генерация(в полевом транзисторе)--транзистор баллистический полевой(исследование генерации)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002
Автор(ы) : Ивин В.В., Махвиладзе Т.М., Валиев. К.А.
Заглавие : Анализ практических применений внеосетеых источников в оптической нанолитографии[Текст]
Место публикации : Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - С. 4.-С.259-272.-Библиогр.: с.272. - (Литография)
УДК : 621.382.002
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы(изготовление,контроль техпроцессов)--нанотехнологии
Экземпляры :чз№2(1)
Свободны : чз№2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002
Автор(ы) : Барышев Ю.П., Москалев И.Н., Кориткин И.П., Орликовский А.А., Прокофьев А.О.
Заглавие : Диагностика плазмы геликоного источника с помощью открытого СВЧ-резонатора
Место публикации : Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - С. 4.-С.286-291.-Библиогр.:3 назв. - (Диагностика)
УДК : 621.382.002
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диагностика плазмы--геликоновый источник--свч-резонатор--микроэлектроника(технологии)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 07.07.2024
Число запросов	132772
Число посетителей	853
Число заказов	0