Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.082.75<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.3.082.75
Автор(ы) : Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К.
Заглавие : Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы
Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 2.-С.136-147
УДК : 621.3.082.75
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травление нанометрового слоя диэлектрика(контроль процесса)--измерение адмитанса системы(контроль процесса травления)--диэлектрики in situ(травление нанометрового слоя)--тонкопленочная технология(контроль процесса травления)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 01.07.2024
Число запросов 95847
Число посетителей 856
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».