Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=537.525<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 537.525
Автор(ы) : Смирнов А. А., Ефремов А. М., Светцов В. И.
Заглавие : Влияние добавок Ar и Heна параметры и состав плазмы
Серия: Диагностика низкотемпературной плазмы
Место публикации : Микроэлектроника. - 2010. - N 5. - С. 392-400
Примечания : Библиогр.: с. 400 (15 назв.)
УДК : 537.525
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма--низкотемпературная плазма--травление в плазме(обзор дефектов)--интегральные микросхемы
Аннотация: Проведено модельное исследование влияния начального состава смесей.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 30.07.2024
Число запросов 27136
Число посетителей 203
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».