Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=SIMOX-структуры(низкотемпературный отжиг)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382:539.23
Автор(ы) : Рудаков В.И., Денисенко Ю.И., Мочалов Б.В.
Заглавие : Низкотемпературный отжиг SIMOX-структур в неоднородном температурном поле
Место публикации : Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - С. 5.-С.367-373.-Библиогр.:13 назв.
УДК : 621.382:539.23
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): simox-структуры(низкотемпературный отжиг)--диэлектрик(формирование скрытых слоев)--кни-технология
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 20.07.2024
Число запросов 80935
Число посетителей 404
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».