Поисковый запрос: (<.>K=AIN<.>) |
Общее количество найденных документов : 7
Показаны документы с 1 по 7 |
>1.
| Матюкова И. С. Исследование технологии получения пьезоэлектрических пленок нитрида алюминия методом магнетронного распыления/И. С. Матюкова ; науч. рук. В. Е. Филимонов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России. -Йошкар-Ола:ПГТУ, 2018,N Ч. 4:Информационные технологии - основа стратегического прорыва в современной промышленности.-С.77-80
|
>2.
| Семикин А. Д. Методика контроля износа покрытий и установка для ее реализации/А. Д. Семикин // Интеллектуальная собственность и современные техника и технологии для развития экономики. -Йошкар-Ола:ПГТУ, 2018.-С.88-91
|
>3.
| Сливин Д.С. Разработка технологии изготовления ПАВ-приборов на основе слоистых структур AIN и ZnO/Д. С. Сливин ; науч. рук. Н. И. Сушенцов // Научному прогрессу - творчество молодых. -Йошкар-Ола:МарГТУ, 2011,N Ч. 2.-С.151-152
|
>4.
| Лучинин В.В. Эллипсометрический контроль параметров тонкослойных структур при создании приборов на основе системы SiC-AIN/В.В.Лучинин,М.Ф.Панов // Микроэлектроника, 2002,N Т.3.-С.2.-С.129-134.-Библиогр.:6 назв.
|
>5.
| Мокосеев Н.С. Разработка технологии получения пьезоэлектрических пленок AIN методом несбалансированного магнетронного распыления/Н. С. Мокосеев, Н. И. Сушенцов // Сборник тезисов докладов студентов, аспирантов, докторантов по итогам научно-технической конференции МарГТУ в 2004 г.. -Йошкар-Ола:МарГТУ, 2004.-С.97-98
|
>6.
| Мокосеев Н.С. Разработка метода и технологии легирования пленок ALN в процессе выращивания/Н. С. Мокосеев, А. В. Ермолаев // Сборник статей студентов, аспирантов и докторантов по итогам научно-технических конференций МарГТУ в 2003 г.. -Йошкар-Ола:МарГТУ, 2004.-С.176-179
|
>7.
| Сушенцов Н.И. Исследование температурной зависимости проводимости легированных пленок AIN/Н. И. Сушенцов, Н. С. Мокосеев, А.В Ермолаев // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы I Международного семинара. -Йошкар-Ола:МарГТУ, 2003.-С.54-60
|
|