Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=реактивные газы<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : Ч21/Н 34
Автор(ы) : Рыжова Е. А., Мороз А. В., Сушенцов Н. И.
Заглавие : Исследование возможности использования элементов нержавеющей стали в качестве основы тонкопленочных резисторов
Место публикации : Наука и инновации-2015 ISS "SI-2015": 10-я международная научная школа : инновационный форум "Прорывные инновации и промышленный прогресс", 10-я Международная Научная Школа-семинар "Фундаментальные исследования и инновации 2015", Всероссийский студенческий проект "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России", Молодежная летняя научная школа-семинар "Наука и инновации - 2015"/ [редкол.: И. И. Попов (пред.), В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь" [и др.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - С. 82-84: 1 рис.; 1 табл. - (Физика-материаловедение-технологии-оборудование). - 670837 кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 84 (6 назв.)
УДК : Ч21
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--микросхемы--резисторы--нержавеющая сталь--тонкопленочные резисторы--реактивные газы--магнетронное распыление
Аннотация: Исследованы технологические возможности формирования магнетронным распылением резистивным пленок из элементов нержавеющей стали. Представлены зависимости между содержанием реактивных газов и удельным поверхностным сопротивлением пленок. Показана возможность управления свойствами пленок на основе оксидов и нитритов элементов нержавеющей стали во время их роста за счет состава газового состава в камере.
Экземпляры : кнхр(1)
Свободны : кнхр(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Мороз, Андрей Викторович, Сушенцов, Николай Иванович, Степанов, Сергей Александрович, Михеева, Елена Викторовна, Рыжова, Елена Андреевна
Заглавие : Технологические особенности формирования резистивных пленок на основе нержавеющей стали
Серия: Электроника
Разночтения заглавия :: Technological aspects of resistive film formation on the basis of stainless steel
Место публикации : Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2016. - № 2 (30). - С. 84-89: 2 рис.
Примечания : Библиогр.: с. 87 (7 назв.). - Реф. на англ. яз.
Предметные рубрики: Радиоэлектроника
Радиоэлектроника в целом
Энергетика
Магнитные измерения
Географич. рубрики:
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): аргон--магнетронное распыление--нержавеющая сталь--нитриды--оксиды--поверхностное сопротивление--реактивные газы--резистивные пленки--технологические особенности--удельное поверхностное сопротивление
Аннотация: Описана технология формирования резистивных пленок на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали. Приведены зависимости между удельным поверхностным сопротивлением температурным коэффициентом пленок и содержанием реактивных газов в атмосфере аргона при их формировании.
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	88766
Число посетителей	826
Число заказов	0