Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=микротомография<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.385
Заглавие : Электронно-зондовая неразрушающая бесконтактная диагностика приборных структур микроэлектроники
Серия: Динамика микро- и наноструктур
Место публикации : Микроэлектроника. - 2010. - Т. 39, N 5. - С. 327-336
Примечания : Библиогр.: с. 336 (14 назв.)
УДК : 621.385
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): неразрушающий контроль--электронный микроскоп--растровая электронная микроскопия--микротомография
Аннотация: Описан электронно-зондовый диагностический комплекс на базе растрового электронного микроскопа. позволяющий бесконтактным неразрушающим способом исследовать строение и архитектуру трехмерных приборных структур микроэлектроники.
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 09.08.2024
Число запросов 15700
Число посетителей 376
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».