Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Книги (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 31
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-20 21-30 31-31

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания :
Автор(ы) : Рыжова Е. А.
Заглавие : Исследование влияния реактивных газов в процессе магнетронного распределения на удельное сопротивление пленки из элементов нержавеющей стали
Место публикации : Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России: материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч./ М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - Ч. 3: Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 128-131: 2 рис. - кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 130-131 (3 назв.)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--магнетронное распыление--устройство--тонкопленочные резисторы--сопротивление--нержавеющая сталь
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания :
Автор(ы) : Кузнецова М. Ю.
Заглавие : Патентоспособное устройство для повышения адгезии тонких металлических пленок в многослойной тонкопленочной структуре
Место публикации : Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России: материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч./ М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - Ч. 3: Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 73-75: 1 рис. - кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 75 (3 назв.)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--металлические пленки--пленки--многослойные структуры--тонкопленочные структуры--магнетронное распыление--адгезия--магнетроны
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Рыжова Е. А.
Заглавие : Разработка устройства для формирования тонкопленочных резисторов на основе оксидов и нитридов нержавеющей стали
Место публикации : Интеллектуальная собственность и современные техника и технологии для развития экономики: материалы III республиканской молодежной научно-практической конференции в рамках Всероссийского студенческого форума "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России" (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 года)/ М-во образования и науки РФ, Фонд содействия развитию малых форм предприятия в научно-технической сфере, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т" ; [редкол.: Ю. С. Андрианов и др.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - С. 110-113: 3 рис. - (Новые приборы и аппаратные комплексы). - кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 113 (5 назв.)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--резисторы--магнетронное распыление--устройство--тонкопленочные резисторы--сопротивление--нержавеющая сталь--микросхемы--резистивные свойства--тонкие пленки
Аннотация: Исследованы технологические возможности формирования магнетронным распылением резистивных пленок из элементов нержавеющей стали. Представлены зависимости между содержанием реактивных газов и удельным поверхностным сопротивлением пленок. Показана возможность управления свойствами пленок на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали во время их роста за счет изменения газового состава в камере.
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : Ч2/Н 34
Автор(ы) : Рыжова Е. А., Мороз А. В.
Заглавие : Влияние технологических условий магнетронного распыления на характеристики резистивных пленок на основе нержавеющей стали
Место публикации : Материалы одиннадцатой международной научной школы- семинар "Наука и инновации-2016" ISS "SI-2016": материалы 8-го международного школы- семинара "Фундаментальные исследования и инновации: нанооптика, фотоника и когерентная спектроскопия", 5-12 июля 2016 года / Рос. фонд фундам. исслед., Фонд содействия развитию малых форм предприятий в науч.- техн. сфере, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т" [и др.]; [редкол.: Попов И. И., Козлов В. А., Самарцев В. В.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2016. - С. 139-142: 4 рис. - (Физика- материаловедение- технологии- оборудование). - кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 141-142 (6 назв.)
ББК : Ч2
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--магнетронное распыление--резистивные пленки--термостабилизация
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : Ч2/Н 34
Автор(ы) : Сушенцов Н. И., Степанов С. А., Шашин Д. Е.
Заглавие : Применение современной схемы магнетронного распыления и дугового испарения при создании функциональных покрытий на основе комплексного нитрида титана алюминия
Место публикации : Материалы одиннадцатой международной научной школы- семинар "Наука и инновации-2016" ISS "SI-2016": материалы 8-го международного школы- семинара "Фундаментальные исследования и инновации: нанооптика, фотоника и когерентная спектроскопия", 5-12 июля 2016 года / Рос. фонд фундам. исслед., Фонд содействия развитию малых форм предприятий в науч.- техн. сфере, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т" [и др.]; [редкол.: Попов И. И., Козлов В. А., Самарцев В. В.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2016. - С. 102-104: 2 рис.; 2 табл. - (Физика- материаловедение- технологии- оборудование). - кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 104 (5 назв.)
ББК : Ч2
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--пленки--магнетронное распыление--дуговое испарение--нитрид титана алюминия--кристаллиты--физика
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания :
Автор(ы) : Шашин Д. Е.
Заглавие : Автоматизированная система позиционирования подложки при напылении тонких пленок
Место публикации : Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России: материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч./ М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - Ч. 3: Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 179-182: 2 рис. - кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 182 (4 назв.)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--тонкие пленки--магнетронное распыление--пленки--напыляемые пленки
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : Ч21/Н 34
Автор(ы) : Рыжова Е. А., Мороз А. В., Сушенцов Н. И.
Заглавие : Исследование возможности использования элементов нержавеющей стали в качестве основы тонкопленочных резисторов
Место публикации : Наука и инновации-2015 ISS "SI-2015": 10-я международная научная школа : инновационный форум "Прорывные инновации и промышленный прогресс", 10-я Международная Научная Школа-семинар "Фундаментальные исследования и инновации 2015", Всероссийский студенческий проект "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России", Молодежная летняя научная школа-семинар "Наука и инновации - 2015"/ [редкол.: И. И. Попов (пред.), В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь" [и др.]. - Йошкар-Ола: ПГТУ, 2015. - С. 82-84: 1 рис.; 1 табл. - (Физика-материаловедение-технологии-оборудование). - 670837 кнхр
Примечания : Библиогр.: с. 84 (6 назв.)
УДК : Ч21
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды пгту--микросхемы--резисторы--нержавеющая сталь--тонкопленочные резисторы--реактивные газы--магнетронное распыление
Аннотация: Исследованы технологические возможности формирования магнетронным распылением резистивным пленок из элементов нержавеющей стали. Представлены зависимости между содержанием реактивных газов и удельным поверхностным сопротивлением пленок. Показана возможность управления свойствами пленок на основе оксидов и нитритов элементов нержавеющей стали во время их роста за счет состава газового состава в камере.
Экземпляры : кнхр(1)
Свободны : кнхр(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : 62/Н 34
Автор(ы) : Грибин А.А.
Заглавие : Разработка вариконда на основе пленок (BaSr )TiO методом ВЧ магнетронного распыления
Место публикации : Научному прогрессу - творчество молодых: международная молодежная научная конференция по естественнонаучным и техническим дисциплинам (Йошкар-Ола, 15-16 апреля 2011 года) : материалы и доклады : в 3 ч./ М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Мар. гос. техн. ун-т" ; [редкол.: Иванов В. А. и др.]. - Йошкар-Ола: МарГТУ, 2011. - Ч. 2. - С. 131-132. - 654231 кнхр
УДК : 62
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): труды маргту--свч микроэлектроники--свч-энергия --магнетронное распыление
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : 62/Н 34
Автор(ы) : Мороз А.В.
Заглавие : Разработка конструкции магнетрона для вакуумных технологий
Место публикации : Научному прогрессу - творчество молодых: сб. материалов междунар. науч. студ. конф. по естеств.- науч. и техн. дисциплинам. 17-18 апр. 2009 г.: в 3 ч./ М-во образования и науки РФ, Федер. агентство по образованию, Гос. ком. Респ. Марий Эл по проф. образованию, МарГТУ, Центр фундам. образования ; [редкол.: Иванов В. А. и др.]. - Йошкар-Ола: МарГТУ, 2009. - Ч. 1. - С. 264-265. - 645895 кнхр
УДК : 62
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вакуумные технологии--распылительные системы--разрядный ток--магнетронное распыление--труды маргту--магнитные системы--магнетронные разряды
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из сборника (том многотомника)
Шифр издания : 62/Н 34
Автор(ы) : Мороз А.В.
Заглавие : Математическая модель формирования многокомпонентных тонких пленок методом магнетронного распыления
Место публикации : Научному прогрессу - творчество молодых: сб. материалов междунар. науч. студ. конф. по естеств.- науч. и техн. дисциплинам. 17-18 апр. 2009 г.: в 3 ч./ М-во образования и науки РФ, Федер. агентство по образованию, Гос. ком. Респ. Марий Эл по проф. образованию, МарГТУ, Центр фундам. образования ; [редкол.: Иванов В. А. и др.]. - Йошкар-Ола: МарГТУ, 2009. - Ч. 1. - С. 262-263. - 645895 кнхр
УДК : 62
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки--многокомпонентные тонкие пленки--магнетронное распыление--математическая модель--труды маргту
Найти похожие

1-10 11-20 21-30 31-31

Тематический навигатор

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	58145
Число посетителей	924
Число заказов	0