Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Эллипсометры(дифференциального отражения)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Разработка оптических методов и аппаратуры для контроля технологии и параметров полупроводниковых структур нано-и микроэлектроники/В. И. Ковалев и [др.] // Радиотехника и электроника, 1999,N Т.4.-С.11.-С.1404-1408.-Библиогр.:13 назв.
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 06.07.2024
Число запросов 90847
Число посетителей 1078
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».