Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Эллипсометрический контроль параметров(тонкослойных структур)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Лучинин В.В., Панов М.Ф.
Заглавие : Эллипсометрический контроль параметров тонкослойных структур при создании приборов на основе системы SiC-AIN
Место публикации : Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - С. 2.-С.129-134.-Библиогр.:6 назв. - (Мониторинг технологических процессов)
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкослойные структуры(контроль параметров)--эллипсометрический контроль параметров(тонкослойных структур)--микроприборы(создание, контроль параметров)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 07.07.2024
Число запросов 107473
Число посетителей 805
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».