Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Эллипсометрический контроль параметров(тонкослойных структур)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Лучинин В.В. Эллипсометрический контроль параметров тонкослойных структур при создании приборов на основе системы SiC-AIN/В.В.Лучинин,М.Ф.Панов // Микроэлектроника, 2002,N Т.3.-С.2.-С.129-134.-Библиогр.:6 назв.
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 07.07.2024
Число запросов 114794
Число посетителей 806
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».