Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Фотолитографический процесс (производство полупроводниковых пластин)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Абрамов Г.В., Коваленко В.Б., Попов Г.В.
Заглавие : Автоматизация процесса термостабилизации полупроводниковых пластин в процессе фотолитографии на базе модульной установки с несущей газовой прослойкой
Место публикации : Автоматизация и современные технологии. - 2001. - N5. - С. 3-6. - (Автоматизация и механизация научно-исследовательских и производственных процессов)
Примечания : Библиогр.: с. 6 (6 назв.)
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковая электроника (технология производства)--полупроводниковые пластины (термостабилизация)--фотолитографический процесс (производство полупроводниковых пластин)
Экземпляры :нчз(1)
Свободны : нчз(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 04.07.2024
Число запросов 106278
Число посетителей 876
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».