Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Фотолитографический процесс (производство полупроводниковых пластин)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Абрамов Г.В. Автоматизация процесса термостабилизации полупроводниковых пластин в процессе фотолитографии на базе модульной установки с несущей газовой прослойкой/Г.В.Абрамов,В.Б.Коваленко,Г.В.Попов // Автоматизация и современные технологии, 2001,N N5.-С.3-6
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 16.08.2024
Число запросов 3306
Число посетителей 149
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».