Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.3.082.75
Автор(ы) : Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К.
Заглавие : Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы
Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 2.-С.136-147
УДК : 621.3.082.75
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): травление нанометрового слоя диэлектрика(контроль процесса)--измерение адмитанса системы(контроль процесса травления)--диэлектрики in situ(травление нанометрового слоя)--тонкопленочная технология(контроль процесса травления)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Котенов В.А.
Заглавие : Комбинирование лазерного фото ЭДС и эллипсометрического микрозондов в дефектоскопии тонких поверхностных слоев и пленок
Место публикации : Микроэлектроника. - 2003. - Т.3. - С. 6.-С.440-447. - (Диагностика микроэлектронных структур)
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): компьютер(в проектировании радиоэлектронных устройств)--компьютерное моделирование(в электронике)--тонкопленочная технология(контроль процесса травления)
Экземпляры :чз№2(1)
Свободны : чз№2(1)
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 541.124
Автор(ы) : Васильев В.Ю.
Заглавие : Тонкие слои борофосфоросиликаного стекла в технологии кремниевой микроэлектроники.[Текст] : Ч.1.осаждение из газовой фазы и свойства слоев стекла
Место публикации : Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - С. №5.-С.334-351.-Библиогр.: с.349-351. - (Технология СБИС)
УДК : 541.124
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): материалы тонкопленочные(с магнитосопротивлением)--история радиотехники--микроэлектроника(история)--тонкопленочная технология(контроль процесса травления)
Экземпляры :чз№2(1)
Свободны : чз№2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.07.2024
Число запросов 12835
Число посетителей 160
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».