Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.

Мордвинцев В.М. Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы/Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника, 1999,N Т.2.-С.2.-С.136-147
2.

Котенов В.А. Комбинирование лазерного фото ЭДС и эллипсометрического микрозондов в дефектоскопии тонких поверхностных слоев и пленок/В.А.Котенев // Микроэлектроника, 2003,N Т.3.-С.6.-С.440-447
3.

Васильев В.Ю. Тонкие слои борофосфоросиликаного стекла в технологии кремниевой микроэлектроники.[Текст]/В.Ю.Васильев // Микроэлектроника, 2004,N Т.3.-С.№5.-С.334-351.-Библиогр.: с.349-351
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.07.2024
Число запросов 5334
Число посетителей 104
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».