Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=Тонкие пленки(контроль качества)<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.38
Автор(ы) : Усанов Д.А.
Заглавие : Использование СВЧ-фотонных структур для измерения параметров нанометровых пленок
Место публикации : Успехи современной радиоэлектроники. - 2008. - N9. - С. 80-88.-Библиогр.:20 назв.
УДК : 621.38
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки(контроль качества)--производство наноэлектроники--измерения толщины покрытия(миниатюрных структур)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 615.47
Заглавие : Тонкие кальций-фосфатные покрытия, полученные методом высокочастотного магнитронного распыления и перспективы их применения в медицинской технике
Место публикации : Медицинская техника. - 2008. - N 3. - С. 18-22.-Библиогр.:11 назв.
УДК : 615.47
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки(контроль качества)--нанотехнологии
Экземпляры :чз N2(1)
Свободны : чз N2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 539.1.38
Автор(ы) : Петров А.Б., Галлямов Р.Р.
Заглавие : Измерение деформации поверхности полимеров при сканировании на атомном силовом микроскопе в полуконтактном режиме
Место публикации : Микроэлектроника. - 2007. - Т.3. - С. 3.-С.190-197.
УДК : 539.1.38
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроскопы туннельные сканирующие(свойства микроконтактов)--атомно-силовая микроскопия--тонкие пленки(контроль качества)
Экземпляры :чз N2(1)
Свободны : чз N2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Котенев В.А.
Заглавие : Цифровая 3D-микрорефлектометрия в контроле топографии и качества тонких пленок
Место публикации : Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - С. 6.-С.466-478. - (Контроль качества)
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки(контроль качества)--видеомикрозонд оптический компьютерный(использование)--цифровая 3d-микрорефлектометрия--контроль микротопографии тонких пленок
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 02.06.2024
Число запросов	43683
Число посетителей	1168
Число заказов	0