Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Технологические процессы в микроэлектронике<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Контактные TiSi2 и барьерные TiN слои для многоуровневой металлизации УБИС/А. Г. Васильев и др. // Микроэлектроника, 2002,N Т.3.-С.1.-С.9-15.-Библиогр.:8 назв.
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 15.07.2024
Число запросов 131915
Число посетителей 551
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».