Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
 Найдено в других БД:Книги (3)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Термометрия<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Орликовский, А. А.
    Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1. [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ) -- Плазменные технологические процессы(диагностика in situ) -- Спектральные диагностические методы(в микроэлектронике) -- Масс-спектрометрия in situ -- Зондовые методы диагностики(процессов травления) -- СВЧ-диагностика плазмы -- Термометрия поверхности
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 26.06.2024
Число запросов 13789
Число посетителей 651
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».