Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Термодиагностика пластины<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника(технологические процессы,диагностика in situ)--диагностика in situ(микроэлектроника)--технологические процессы(микроэлектроника)--зондирование поверхности структур(микроэлектроника)--микроструктуры--интерферометрия--эллипсометрия(одноволновая спектральная)--термодиагностика пластины
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 12.07.2024
Число запросов 44429
Число посетителей 327
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».