Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Термоакустического детектирования метод<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.385.833
Автор(ы) : Рау Э.И., Гостев А.В., Чжу, Шичу, Пханг Д., Чан Д., Тхонг Д., Вонг В.
Заглавие : Сравнительный анализ методов растровой электронной микроскопии полупроводников : электронно-индуцированного потенциала, одноконтактного наведенного тока, термоакустического детектирования
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 4.-С.243-256.-Библиогр.:28 назв.
УДК : 621.385.833
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электронная микроскопия полупроводников(методы)--полупроводники(методы электронной микроскопии)--электронно-индуцированного вотенциала метод--одноконтактного наведенного тока метод--термоакустического детектирования метод
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

 
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 141383
Число посетителей 847
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».