Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ(ОБЗОР ДЕФЕКТОВ)<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 537.525
Автор(ы) : Смирнов А. А., Ефремов А. М., Светцов В. И.
Заглавие : Влияние добавок Ar и Heна параметры и состав плазмы
Серия: Диагностика низкотемпературной плазмы
Место публикации : Микроэлектроника. - 2010. - N 5. - С. 392-400
Примечания : Библиогр.: с. 400 (15 назв.)
УДК : 537.525
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазма--низкотемпературная плазма--травление в плазме(обзор дефектов)--интегральные микросхемы
Аннотация: Проведено модельное исследование влияния начального состава смесей.
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А.
Заглавие : Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 1.Реактивное ионное травление
Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 5.-С.344-362.-Библиогр.:14 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевая технология(развитие)--интегральные схемы ультрабольшие(тенденции развития технологии)--микроэлектроника субмикронная(применение плазмы в новых технологиях)--травление реактивное(мониторинг)--эффект апертурный--травление в плазме(обзор дефектов)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 19.07.2024
Число запросов	64581
Число посетителей	658
Число заказов	0