Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ(ОБЗОР ДЕФЕКТОВ)<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

Смирнов А. А. Влияние добавок Ar и Heна параметры и состав плазмы/А. А. Смирнов, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Микроэлектроника, 2010,N N 5.-С.392-400
2.

Орликовский А.А. Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 1.Реактивное ионное травление/Орликовский А.А. // Микроэлектроника, 1999,N Т.2.-С.5.-С.344-362.-Библиогр.:14 назв.
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 06.07.2024
Число запросов 43023
Число посетителей 735
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».