Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=СВЧ-диагностика плазмы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1.
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ)--плазменные технологические процессы(диагностика in situ)--спектральные диагностические методы(в микроэлектронике)--масс-спектрометрия in situ--зондовые методы диагностики(процессов травления)--свч-диагностика плазмы--термометрия поверхности
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 01.07.2024
Число запросов 16460
Число посетителей 490
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».