Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Пленки аморфного кремния(свойства)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Будагян Б.Г., Шерченков А.А., Бердников А.Е., Черномордик В.Д.
Заглавие : Высокоскоростной метод осаждения аморфного кремния
Место публикации : Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - С. 6.-С.442-448.-Библиогр.:11 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): аморфный кремний(осаждение)--пленки аморфного кремния(свойства)--гетероструктуры(изготовление)--высокоскоростного осаждения a-si метод
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 15.07.2024
Число запросов 85683
Число посетителей 504
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».