Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II/А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 04.07.2024
Число запросов 198612
Число посетителей 1058
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».