Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=Плазменные технологические процессы(диагностика in situ)<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 681.586.4
Автор(ы) : Сазонов Ю.И.
Заглавие : Система измерения и регистрации пульсаций давления плазмы[Текст]
Место публикации : Радиотехника и электроника. - 2005. - Т.5. - С. N11.-С.1403-1408.- Библиогр.: 6 назв. - (Новые радиоэлектронные системы и элементы)
УДК : 681.586.4
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазменные технологические процессы(диагностика in situ)--генераторы
Экземпляры :ЧЗ N2(1)
Свободны : ЧЗ N2(1)
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1.
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ)--плазменные технологические процессы(диагностика in situ)--спектральные диагностические методы(в микроэлектронике)--масс-спектрометрия in situ--зондовые методы диагностики(процессов травления)--свч-диагностика плазмы--термометрия поверхности
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 02.08.2024
Число запросов	59218
Число посетителей	506
Число заказов	0