Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Парогазовая смесь(PE CVD)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.793.74
Автор(ы) : Евтух А.А., Рассамакин В.Я., Рассамакин Ю.В., Литвин Ю.М.
Заглавие : Плазмохимическое осаждение пленок двуокиси кремния в автоматизированной установке с индивидуальной обработкой пластин
Место публикации : Материаловедение. - 2001. - N10. - С. .40-43
УДК : 621.793.74
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): установка плазмохимического охлаждения диэлектрических пленок--парогазовая смесь(pe cvd)
Экземпляры :НЧЗ(1)
Свободны : НЧЗ(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 08.07.2024
Число запросов 57110
Число посетителей 813
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».