Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Осаждение тонких диэлектрических слоев(методы)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.38
Автор(ы) : Васильев В.Ю.
Заглавие : Тенденции развития технологии и аппаратуры химического осаждения тонких диэлектрических слоев на основе диоксида кремния в микроэлектронике. Часть I. Материалы, методы осаждения, аппаратура
Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 3.-С.175-182.-Библиогр.:21 назв.
УДК : 621.38
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника полупроводниковая(технологии)--осаждение тонких диэлектрических слоев(аппаратура)--осаждение тонких диэлектрических слоев(методы)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.08.2024
Число запросов 41459
Число посетителей 298
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».