Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Омические контакты(изготовление)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.3
Автор(ы) : Данилюк А.Л., Снитовский Ю.П.
Заглавие : Очистка и подлегирование кремния в плазме BF3 при изготовлении омических контактов
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 4.-С.305-311.-Библиогр.:29 назв.
УДК : 621.382.3
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний(очистка,подлегирование)--омические контакты(изготовление)--контакты омические высоконадежные невыпрямляющие--пленки молибдена(нанесение)--катодного распыления метод(нанесения пленок)--полупроводника и диэлектрика контакт
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 04.07.2024
Число запросов 186615
Число посетителей 1051
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».