Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Неоднородного химического травления метод(через маску)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.315.592
Автор(ы) : Старков В.В., Старостина Е.А., Волков В.Г., Вяткин А.Ф.
Заглавие : Формирование локальных диэлектрических областей методом неоднородного химического травления через маску
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 2.-С.106-112.-Библиогр.:17 назв.
УДК : 621.315.592
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): локальные диэлектрические области кремния(формирование)--неоднородного химического травления метод(через маску)--микроэлектронные технологии
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 23.08.2024
Число запросов 10651
Число посетителей 294
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».