Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Многоуровневая металлизация УБИС<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.3.049.77
Автор(ы) : Васильев А.Г., Орликовский А.А., Родатис В.В., Хорин И.А.
Заглавие : Контактные TiSi2 и барьерные TiN слои для многоуровневой металлизации УБИС
Место публикации : Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - С. 1.-С.9-15.-Библиогр.:8 назв. - (Технологические процессы)
УДК : 621.3.049.77
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): многоуровневая металлизация убис--тонкие пленки ис(формирование)--интегральные схемы(многоуровневые,металлизация)--технологические процессы в микроэлектронике--процессы технологические(в микроэлектронике)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 15.07.2024
Число запросов 95733
Число посетителей 521
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».