Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Микроволновой источник плотной плазмы(применение)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Некоторые применения микроволнового источника плотной плазмы в субмикронной технологии кремниевых интегральных схем/С. Н. Аверкин и [др.] // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.3.-С.183-188.-Библиогр.:14 назв.
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 07.07.2024
Число запросов 18244
Число посетителей 473
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».