Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Локальная планаризация поверхности ИС<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Аверкин С.Н., Валиев К.А., Наумов В.А., Калинин А.В., Кривоспицкий А.Д., Орликовский А.А., Рылов А.А.
Заглавие : Некоторые применения микроволнового источника плотной плазмы в субмикронной технологии кремниевых интегральных схем
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 3.-С.183-188.-Библиогр.:14 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): субмикронная технология кремниевых интегральных схем--интегральные схемы кремниевые(субмикронная технология)--микроволновой источник плотной плазмы(применение)--охлаждение тонких слоев sio2--заполнение субмикронных канавок--субмикронные канавки(заполнение)--тонкие слои sio2(охлаждение)--локальная планаризация поверхности ис--травление глубоких"тренчей"в диэлектрике--диэлектрик(травление"тренчей")
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 07.07.2024
Число запросов 7164
Число посетителей 426
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».