Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Интегральные микросхемы(изоляция элементов)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.315.592
Автор(ы) : Старков В.В., Старостина Е.А., Вяткин А.Ф., Горбатов Ю.Б.
Заглавие : Формирование локальных диэлектрических областей в Si-Si/Ge-структурах имплантацией и последующим неоднородным химическим травлением
Место публикации : Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - С. 5.-С.333-338.-Библиогр.:12 назв.
УДК : 621.315.592
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы(изоляция элементов)--аморфные пористые пленки--неоднородное химическое травление--диэлектрические области локальные(формирование)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 03.07.2024
Число запросов 163259
Число посетителей 1064
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».