Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Поисковый запрос: (<.>K=Диэлектрики in situ(травление нанометрового слоя)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Мордвинцев В.М. Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы/Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника, 1999,N Т.2.-С.2.-С.136-147
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 01.07.2024
Число запросов 96985
Число посетителей 861
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».