Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Светличный, А. М.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382.002
Автор(ы) : Светличный А.М., Поляков В.В., Варзарев Ю.Н.
Заглавие : Формирование пленок диоксида кремния фотохимическим разложением тетраэтоксисилана
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 1.-С.27-31.-Библиогр.:8 назв.
УДК : 621.382.002
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки диоксида кремния(формирование)--тетраэтоксисилан(фотохимическое разложение)--микроэлектроника(технологии)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 28.07.2024
Число запросов 32541
Число посетителей 162
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».