Поисковый запрос: (<.>A=Руденко, К. В.$<.>) |
Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6 |
1. 
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В., Суханов Я.Н.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника(мониторинг плазмохимических процессов)--плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг)--масс-спектрометрия ионов--свч-диагностика(плазмы)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1.
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ)--плазменные технологические процессы(диагностика in situ)--спектральные диагностические методы(в микроэлектронике)--масс-спектрометрия in situ--зондовые методы диагностики(процессов травления)--свч-диагностика плазмы--термометрия поверхности
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Аверкин С.Н., Валиев К.А., Кошкин В.В., Орликовский А.А., Руденко К.В., Сусанов Я.Н.
Заглавие : Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы
Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): источник плотной плазмы(микроволновый,конструкция)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Руденко К.В.
Заглавие : Возможности синхронного детектирования эмиссионного сигнала плазмы при мониторинге травлния структуры SiO2/Si
Место публикации : Микроэлектроника. - 2003. - №7-. - С. -С.271-276
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковая электроника--электроника материалы--теория сигналов
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В., Суханов Я.И.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 6.-С.403-433.-Библиогр.:62 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника(управление плазмохимическими процессами)--плазмохимические процессы микроэлектроники(управление)--диагностика плазмы,поверхности пластин(микроэлектроника)--диагностика in situ--контроллеры автоматического управления(моделирование,архитектура)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.382
Автор(ы) : Орликовский А.А., Руденко К.В.
Заглавие : Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III
Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.
УДК : 621.382
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника(технологические процессы,диагностика in situ)--диагностика in situ(микроэлектроника)--технологические процессы(микроэлектроника)--зондирование поверхности структур(микроэлектроника)--микроструктуры--интерферометрия--эллипсометрия(одноволновая спектральная)--термодиагностика пластины
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
|
|
|
Главная
Описание
Книги
Стандартный