Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Руденко, К. В.$<.>)

Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6

Руденко К.В. Возможности синхронного детектирования эмиссионного сигнала плазмы при мониторинге травлния структуры SiO2/Si/К.В.Руденко,Я.Н.Суханов,Н.И.Базаев // Микроэлектроника, 2003,N №7-.-С.-С.271-276

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы/А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.И.Суханов // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.6.-С.403-433.-Библиогр.:62 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1./Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II/А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III/Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.

Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы/С.Н.Аверкин,К.А.Валиев,В.В.Кошкин и др. // Микроэлектроника, 1999,N Т.2.-С.6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв.

Тематический навигатор

Статистика за 07.07.2024
Число запросов	15776
Число посетителей	472
Число заказов	0