Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Найдено в других БД:

Книги (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Орликовский, А. А.$<.>)

Общее количество найденных документов : 9
Показаны документы с 1 по 9

Диагностика плазмы геликоного источника с помощью открытого СВЧ-резонатора/Ю.П.Барышев,И.Н.Москалев,И.П.Кориткин и др. // Микроэлектроника, 2002,N Т.3.-С.4.-С.286-291.-Библиогр.:3 назв.

Контактные TiSi2 и барьерные TiN слои для многоуровневой металлизации УБИС/А. Г. Васильев и др. // Микроэлектроника, 2002,N Т.3.-С.1.-С.9-15.-Библиогр.:8 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы/А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.И.Суханов // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.6.-С.403-433.-Библиогр.:62 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III/Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.

Некоторые применения микроволнового источника плотной плазмы в субмикронной технологии кремниевых интегральных схем/С. Н. Аверкин и [др.] // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.3.-С.183-188.-Библиогр.:14 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II/А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.

Орликовский А.А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1./Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника, 2001,N Т.3.-С.2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.

Орликовский А.А. Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 1.Реактивное ионное травление/Орликовский А.А. // Микроэлектроника, 1999,N Т.2.-С.5.-С.344-362.-Библиогр.:14 назв.

Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы/С.Н.Аверкин,К.А.Валиев,В.В.Кошкин и др. // Микроэлектроника, 1999,N Т.2.-С.6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв.

Тематический навигатор

Статистика за 02.08.2024
Число запросов	67716
Число посетителей	518
Число заказов	0