Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Бараненков, И. В.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.3.049.77
Автор(ы) : Бараненков И.В., Агеев Р.Н.
Заглавие : Оценка эффективности различных методов химической очистки поверхности кремниевых пластин при изготовлении ИС с субмикронными проектными нормами
Место публикации : Электронная техника.Сер.3.Микроэлектроника. - 1999. - Вып. - С. 153).-С.41-48.-Библиогр.:14 назв.
УДК : 621.3.049.77
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): производство сбис--очистка поверхности кремниевых пластин--жидкостная химическая очистка(производство бис)
Экземпляры :чзN2(1)
Свободны : чзN2(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 15.07.2024
Число запросов 74279
Число посетителей 490
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».