Родионов, Ю. А.     Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Электронный ресурс] / Ю. А. Родионов. - 2-е изд., стер. - Санкт-Петербург : Лань, 2022. - 220 с. - ISBN 978-5-8114-9566-5 : Б. ц. Кл.слова (ненормированные): Реактив -- фильтрация -- травление -- нанесение пленок -- деионизованная вода -- эбс лань Аннотация: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств». Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024